下午三点整,技术团队全员冲向岗位。
一场无声、高强度、极限压力下的技术攻坚战,全面爆发。
第一阶段:前4小时——排查瓶颈,数据说话
(15:00—19:00)
第一小组赵工第一时间联动环境班组,将洁净车间温湿度重新校准,空调系统进入高精度微调模式,风淋开关时间严格限制,车间出入口减少开启,彻底隔绝外界气流干扰。
一小时后,小组汇报:
“林总,环境波动已压至±0.28℃,满足极限要求,无继续压缩空间。”
林野只回两个字:“稳住。”
第二小组孙工联合刀哥设备团队,对光刻机、蚀刻机气路全面拆解、清洗、校准。流量计、压力传感器全部重新标定,腔体温度均匀性逐点测试。
两小时四十分钟后汇报:
“林总,气路波动从0.3压到0.04,设备重复性偏差达标,但晶圆来料厚度差仍在影响一致性。”
林野点头:“继续监控,交给第三小组解决。”
第三小组周工带领工艺团队,最先遇到真正的硬骨头。
他们把工艺时序压到毫秒级,但测试数据显示:
一致性误差仍在±2.1%~±2.3%之间。
周工在作战室额头冒汗,对着数据反复复盘:
“林总,设备、环境、气路都到顶了,误差主要来自晶圆本身厚度差,每一片都有微小差别,导致蚀刻后参数不一致。”
林野平静开口:“方向给你们:动态补偿。
检测在前,工艺在后,测到厚度偏高,自动多蚀刻15毫秒;偏低,少蚀刻15毫秒。
能不能实现,你们去验证。验证结果,直接报我。”
周工眼睛一亮:“明白!我们立刻做模型!”
第四小组吴工的测试台24小时不停机,每一颗芯片的数据实时上传大屏,波动曲线、分布直方图、CPK能力指数实时更新。
每到整点,吴工就抱着平板冲进作战室,向林野汇报最新数据:
“16:00 一致性:±2.3%”
“17:00 一致性:±2.2%”
“18:00 一致性:±2.1%”
“19:00 一致性:±2.0%”
数据在一点点往下压,但距离±1.5%的目标,依旧差一小截。
作战室内,
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